實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)管道安裝要求　

　　滿足不同實(shí)驗(yàn)的要求和安全性。雙瓶采用匯流排供氣設(shè)備，具有手動(dòng)、半自動(dòng)和全自動(dòng)切換功能，并設(shè)有低壓報(bào)警裝置，實(shí)時(shí)監(jiān)控氣壓、濃度檢測(cè)報(bào)警和排氣，確?？蛻粽Ｓ脷夂蜕?cái)產(chǎn)安全。

　　氣路系統(tǒng)常用設(shè)備

　　鋼瓶(氣體壓縮機(jī))、鋼瓶固定架、鋼瓶柜、鋼瓶接頭、金屬軟管、半自動(dòng)開關(guān)裝置、一級(jí)減壓器、二級(jí)減壓器、焊接三通、焊接大、小封頭、夾緊套筒閥、不銹鋼管(BA)、壓力表、可燃有毒氣體監(jiān)測(cè)報(bào)警裝置等。

　　實(shí)驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)技術(shù)要求

　　、氣瓶存放室

　　氣瓶之間應(yīng)采用300毫米厚的實(shí)心墻，安裝防爆門，設(shè)置防爆窗

　　室內(nèi)電氣設(shè)備應(yīng)具有防爆功能

　　應(yīng)安裝排氣扇，隨時(shí)保持良好的通風(fēng)狀態(tài)

　　供氣系統(tǒng)需要兩級(jí)減壓供氣。供氣匯流排減壓。氣體從15MPa減壓到小于1.5MPa，然后輸送到每個(gè)氣體使用實(shí)驗(yàn)室。二級(jí)減壓器安裝在每個(gè)用氣實(shí)驗(yàn)室或用氣點(diǎn)，便于對(duì)通風(fēng)柜或儀表的氣體輸送壓力進(jìn)行統(tǒng)一控制。用氣終端裝有中壓球閥和壓力指示器。二級(jí)減壓器精確調(diào)節(jié)壓力(0.01兆帕)，獲得穩(wěn)定的壓力，可以滿足儀器對(duì)不同使用壓力的要求。一級(jí)減壓器和二級(jí)減壓器均配有壓力表，可實(shí)時(shí)顯示當(dāng)前壓力。

　　、采用雙側(cè)匯流排半自動(dòng)方式連續(xù)供氣，實(shí)驗(yàn)室使用要求。更換氣瓶時(shí)，可以通過(guò)安裝在高壓軟管下方的夾緊套更換氣瓶

　　、氫氣和乙炔是。應(yīng)設(shè)計(jì)氣體泄漏檢測(cè)和報(bào)警裝置，并安裝阻火器，以防止明火回流。應(yīng)確保放置易燃和助燃?xì)怏w的足夠安全距離。

　　實(shí)驗(yàn)室高純氣路布局

　　高純氣體管道系統(tǒng)的布置不同于普通氣體管道。一般來(lái)說(shuō)，要求管道不要太長(zhǎng)，不要有死角，如不容易吹干凈的“盲管"。主管或支管的末端應(yīng)提供必要的排放口和取樣口。在一些非連續(xù)使用的用戶中，讓少量氣體在管道末端連續(xù)排出，從而管道中的氣體將正常流動(dòng)，避免出現(xiàn)“死區(qū)"。根據(jù)工藝氣體的質(zhì)量要求，必要時(shí)應(yīng)設(shè)置終端凈化裝置。一般來(lái)說(shuō)，控制閥、過(guò)濾器、減壓裝置、壓力表、流量計(jì)、在線分析儀器等。進(jìn)入潔凈車間的高純度氣體管道集中在氣體人口室，便于統(tǒng)一管理和控制。

　　高純氣路管道及管道附屬材料:高純氣體管道輸送管道應(yīng)根據(jù)工藝對(duì)氣體純度、允許雜質(zhì)含量、顆粒含量等的不同要求，采用相應(yīng)質(zhì)量的管道。例如，半導(dǎo)體工業(yè)不僅需要清潔的生產(chǎn)環(huán)境，而且由于其復(fù)雜的生產(chǎn)過(guò)程和精細(xì)加工，對(duì)生產(chǎn)過(guò)程中所需的各種高純度氣體也有具體和嚴(yán)格的要求。從微米技術(shù)到亞微米和深亞微米(小于0.35um)技術(shù)，對(duì)氣體中雜質(zhì)含量和水分含量的要求非常嚴(yán)格，10-6 (ppm級(jí))不能滿足要求。需要達(dá)到10-9 (ppb級(jí))甚至10-12(ppt級(jí))，粉塵粒徑需要控制在0.05-0.01 μm。因此，輸送管道的管道材料特性必須滿足高純度和超高純度氣體的要求。

　　管道材料的特性對(duì)于輸送高純氣體的管道，影響氣體質(zhì)量的管道材料的主要特性是透氣性、出氣率、吸附性、表面粗糙度、耐磨性和耐腐蝕性。

　　供氣系統(tǒng)管道安裝要求

　　、管道敷設(shè)應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求，設(shè)計(jì)沒有要求時(shí)，干氣管道應(yīng)水平安裝;輸送濕氣的管道應(yīng)安裝坡度不小于0.003，坡度應(yīng)朝向冷凝水收集器。

　　管道采用焊接連接，鎢極氬弧焊打底，手工電弧焊覆蓋。不銹鋼管焊接或點(diǎn)焊應(yīng)采取充氬保護(hù)措施

　　氣體管道和設(shè)備、閥門和其他附件應(yīng)通過(guò)法蘭或螺紋連接。螺紋接頭的填料必須是聚四氟乙烯薄膜

　　、氣體管道穿過(guò)潔凈室時(shí)，法蘭墊片或螺紋填料的外露部分，必須清理干凈

　　氣體管道采用噴砂除銹或酸洗鈍化無(wú)縫鋼管時(shí)，必須采用集中安裝方式，安裝應(yīng)在48小時(shí)內(nèi)分段組合，氮?dú)獗Ｗo(hù)，填充壓力不小于0.2兆帕

　實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)管道安裝要求